电子行业隔膜泵选型标准 超纯净介质输送

材料兼容性

• 泵体与膜片材料：

  • 金属部件：优选高纯度316L不锈钢（电解抛光或电化学钝化处理），避免离子析出。
  • 非金属接触部件：采用PTFE（聚四氟乙烯）、PFA（全氟烷氧基树脂）或ETFE（乙烯-四氟乙烯共聚物），确保化学惰性和低溶出性。
  • 膜片：PTFE复合膜片（如PTFE+EPDM）或纯PTFE膜片，需通过SEMI F57或SEMI F40认证。

• 密封材料：选用FFKM（全氟醚橡胶）或Kalrez®，耐受高纯化学品（如氢氟酸、硫酸、氨水等）。

洁净度与颗粒控制

• 表面处理：流道需电解抛光（Ra≤0.4μm），减少颗粒附着和金属离子释放。
• 无死角设计：泵体结构应避免滞留区域，防止介质残留滋生污染。
• 认证要求：符合SEMI F57（颗粒标准）、SEMI F40（化学兼容性）及ISO Class 3/4洁净等级。

耐化学性与温度范围

• 介质兼容性：需与超纯水（UPW）、IPA（异丙醇）、光刻胶、蚀刻液等兼容，参考SEMI F40化学兼容性列表。
• 温度范围：通常要求-20°C***+120°C，高温工况需特殊材料（如PEEK阀球）。

流量与压力参数

• 流量范围：根据工艺需求选择（如0.1-100 L/min），需考虑脉动抑制（加装脉动阻尼器）。
• 压力能力：一般需覆盖0.1~10 bar，真空应用需选双隔膜泵（如化学机械抛光CMP废液处理）。

防污染设计

• 无润滑结构：采用干式运行设计，避免润滑油污染。
• 排气处理：配置排气过滤器（0.01μm PTFE滤芯）防止环境颗粒倒灌。
• 在线清洁（CIP）：支持快速拆卸或原位清洁，减少停机时间。

可靠性与维护

• 寿命指标：膜片寿命需≥50万次循环（如采用PTFE+弹簧支撑结构）。
• 泄漏检测：集成膜片破裂传感器，实时报警。
• 备件更换：模块化设计，更换膜片/阀组无需专用工具。

行业认证与标准

• SEMI标准：SEMI S2/S8（安全与环保）、SEMI F57（颗粒测试）。
• FDA/USP Class VI：适用于生物医药相关应用。
• CE/UL认证：确保电气安全。

推荐品牌与型号

• 进口品牌：
  • KNF（NMP 830系列，PTFE膜片）
  • IWAKI（PX系列，电解抛光316L）
  • Yamada（无油隔膜泵，半导体级）
• 国产品牌：
  • 恒流泵业（PTFE全包覆设计）
  • 兰格（超纯水输送专用泵）

选型流程

1. 明确介质属性（成分、浓度、温度）。
2. 确定流量/压力曲线，避免过载或汽蚀。
3. 验证材料兼容性（通过化学兼容性数据库或厂商测试报告）。
4. 评估洁净度需求（如颗粒计数报告）。
5. 确认认证与售后服务（备件供应、技术支持）。